IC缺陷轮廓多分形特征研究

• 作者: 孙晓丽 宋国乡 郝跃
• 来源期刊: 电子与信息学报
• 学科: 工学
• 关键词: IC缺陷轮廓 小波变换模极大 多分形谱 尺度指数
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 496-498
• 页数: 3页
• 分类号: TN43
• 字数: 2844字
• 语种: 中文

摘要

IC真实缺陷轮廓曲线的形状特征对集成电路成品率预报及故障分析有重要影响.该文提出缺陷轮廓曲线具有多分形特征,以某一真实缺陷为例,用小波变换模极大(WTMM)的方法估计了其轮廓曲线参数方程的多分形谱,该结果为硅片表面缺陷的精细表征及其计算机模拟作了有益探索.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝跃	西安电子科技大学理学院	312	1866	17.0	25.0
2	宋国乡	西安电子科技大学理学院	160	2031	21.0	40.0
3	孙晓丽	西安电子科技大学理学院	11	155	7.0	11.0