电化学沉积高c轴取向ZnO薄膜及其光学性能分析

• 作者: 付伟佳 刘志文 刘明 张庆瑜 谷建峰 马春雨
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 电沉积 表面形貌 光学性能
• 年，卷（期）: 2007,（10）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 5979-5985
• 页数: 7页
• 分类号: O4
• 字数: 6026字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.10.071

摘要

采用阴极还原方法,在透明导电玻璃(ITO)上制备了高c轴择优取向的ZnO薄膜.通过X射线衍射、扫描电子显微镜等表征技术,研究了沉积电流对ZnO薄膜的结构、应力状态及表面形貌的影响;利用光致荧光光谱及透射光谱等分析方法,探讨了沉积电流变化对ZnO薄膜的光学性能的影响.研究结果显示:各沉积电流下均可制得高c轴取向的ZnO薄膜;薄膜表面形貌受电流的影响较大;从透射谱可以看出,薄膜在可见光波段有较高透射率,且薄膜厚度随沉积电流的增大而增大.光致荧光测量表明,电化学沉积的ZnO薄膜具有明显的带隙展宽.而且,随着沉积电流的增加,带隙发光强度逐渐减弱,缺陷发光逐渐增强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘明	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	45	494	12.0	20.0
2	张庆瑜	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	92	897	16.0	25.0
3	马春雨	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	22	178	8.0	12.0
4	谷建峰	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	9	123	6.0	9.0
5	付伟佳	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	6	75	4.0	6.0
6	刘志文	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	12	264	8.0	12.0