针式轮廓仪的技术改进研究

• 作者: 冯进良 田明 罗宽 臧景峰
• 来源期刊: 长春理工大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 表面粗糙度 精密工作台 步进电机 滚珠丝杠 表面轮廓参教
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 页码范围: 81-83
• 页数: 3页
• 分类号: TH122
• 字数: 2272字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-9870.2008.04.025

摘要

随着精密和超精加工技术的进步,需要更高水平的设备检测微表面质量.表面粗糙度是一个重要指标,表面粗糙度测量仪从二维到三雏实施检测.虽然许多非接触检测技术已得到应用,不过要从安装方便、可靠性高这个角度来看,针式法是一种优先选用的方法.本文对如何引进和使用精密三维工作台来改善此方法进行了研究.详细论述了测量系统的组成和精密三维工作台的设计.通过三个设计方案的论证分析,提出了将针式测量仪和计算机结合在一起的智能化测量系统.该检测方法具有检测参数超过平面限制的三维粗糙度测量方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	臧景峰	长春理工大学光电工程学院	20	131	6.0	11.0
2	冯进良	长春理工大学光电工程学院	69	238	8.0	10.0
3	田明	长春理工大学光电工程学院	37	78	5.0	6.0
4	罗宽	长春理工大学光电工程学院	9	25	4.0	4.0