基于PID控制的FTIR光谱仪伺服控制系统设计

• 作者: 张天舒 徐亮 陆亦怀 陈军 陈华 高闽光 魏秀丽
• 来源期刊: 大气与环境光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: PID控制 迈克尔逊干涉仪 伺服控制
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 光电技术
• 页码范围: 142-146
• 页数: 5页
• 分类号: O433.1
• 字数: 2287字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-6141.2008.02.012

摘要

傅里叶变换红外(FTIR)光谱仪在环境和大气污染气体成分检测中起着非常重要的作用,其核心光学部件是迈克尔逊干涉仪.为实现干涉仪的平稳运动,保证光机扫描的稳定性和重复性,提出一种基于ATMEL89C52单片机的伺服控制系统,在激光干涉信号和白光干涉信号的配合下,通过PID控制,系统实现了比较匀速的扫描速度控制和精确的位置控制,满足光谱仪对干涉仪的运动要求.