硅基热电堆真空传感器的耦合场分析

• 作者: 梁平治 程正喜 陈世军 马斌
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 真空传感器 热电堆 有限元分析 ANSYS
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 336-342
• 页数: 7页
• 分类号: TP212
• 字数: 4832字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2008.05.005

摘要

利用商业化的1.2μm标准CMOS生产流水线,配合无掩模体硅各向异性腐蚀工艺,制造了一种热电堆型真空传感器,器件敏感部分尺寸为124μm×100μm,由5层薄膜组成,最大厚度为3.2 μm.采用一种简化方式时传感器建立有限元模型.新模型一方面忽略了气体对流和热辐射的传热作用,另一方面将各层介质和热电堆结构层分别进行了合并.模型具有简单的断面结构,网格划分容易,收敛速度快.运用ANSYS软件对模型进行了电-热、热-电耦合场分析,直接得到了1.5 V加热电压驱动时不同压强下的热电堆输出电压,并与0.1～200 Pa之间的测试结果进行比较.结果表明,采用简化建模方式的计算结果与测试结果之间的偏差小于6%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁平治	中国科学院上海技术物理研究所	28	252	9.0	15.0
2	程正喜	中国科学院上海技术物理研究所	9	21	3.0	4.0
3	马斌	中国科学院上海技术物理研究所	22	129	7.0	10.0
4	陈世军	中国科学院上海技术物理研究所	20	98	5.0	8.0