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摘要:
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MEMS电场传感器测试技术研究及进展
MEMS传感器
电场传感器
晶圆级测试
器件级测试
电场标定
VLSI圆片级可靠性技术
圆片级可靠性技术
金属化完整性
氧化层完整性
连接完整性
热载流子注入
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 圆片级测试MEMS器件的解决之道
来源期刊 今日电子 学科
关键词
年,卷(期) 2008,(9) 所属期刊栏目 专题特写
研究方向 页码范围 47-48
页数 2页 分类号
字数 1784字 语种 中文
DOI
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2008(0)
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相关学者/机构
期刊影响力
今日电子
月刊
1004-9606
11-3227/TM
大16开
北京海淀区中关村南大街乙12号天作国际中心1号楼A座1506-1508
82-518
1993
chi
出版文献量(篇)
4775
总下载数(次)
3
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