基于光闸莫尔原理的压印套刻对准方法

• 作者: 成丹
• 来源期刊: 天津工程师范学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 压印光刻 对准 光栅 莫尔信号
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 页码范围: 17-20
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 1721字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-0926.2008.01.004

摘要

为了满足压印光刻中套刻对准精度的要求,提出了一种基于光闸莫尔原理的粗精两步对准方法.设计了粗精两种对准标记,十字标记作为粗对准标记,等节距的光栅标记作为精对准标记.考虑到实际中通常采用分区步进压印工艺,因此在基片上的每一个压印分区都设计有相应的对准标记.分析了基于该方法的对准原理,得到了光刻机三坐标矢量与检测信号之间的对应关系,证明了该方法可实现x、y、θ三个方向的对准误差检测.在实际应用中,可将该误差信号作为控制系统的驱动信号,对承片台实行闭环控制,实现对准.该方法对压印光刻乃至其它光刻技术中的套刻对准,都具有一定的参考意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	成丹	天津工程师范学院电子工程系	3	3	1.0	1.0