射频磁控反应溅射制备Y2O3薄膜沉积分布的研究

• 作者: 刘其军 刘正堂 李阳平 闫锋
• 来源期刊: 中山大学研究生学刊：自然科学与医学版
• 学科: 物理学
• 关键词: 电场 Y2O3 射频磁控反应溅射
• 年，卷（期）: zsdxyjsxkzrkxyyxb_2008,（4）
• 页码范围: 48-53
• 页数: 6页
• 分类号: O484.5

摘要

金刚石具有高透过率、高热导率、高的化学和热稳定性以及优异的力学性能，是制造高速飞行器红外窗口和头罩的理想材料。然而，在高速飞行时，由于空气动力加热会产生很高的温度，使金刚石迅速发生氧化，导致透过率急剧下降。为此，需要在金刚石表面制备抗氧化增透涂层。本文采用射频磁控反应溅射法制备Y2O3薄膜，观察了薄膜的沉积分布，并通过电磁场理论对沉积分布进行了探讨，结果表明：在腔体内的电场线分布是导致薄膜厚度周期性变化的主要因素。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李阳平	西北工业大学材料学院	25	201	8.0	13.0
2	刘正堂	西北工业大学材料学院	120	749	14.0	21.0
3	刘其军	西北工业大学材料学院	27	69	5.0	7.0
4	闫锋	西北工业大学材料学院	12	46	4.0	6.0