甲烷浓度对批量生产金刚石涂层刀片的影响

• 作者: 余学超 孙蕾 汪建华 满卫东 谢鹏
• 来源期刊: 硬质合金
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石涂层 硬质合金刀片 微波等离子体化学气相沉积 甲烷浓度
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 工艺技术
• 页码范围: 154-157
• 页数: 4页
• 分类号: TG1
• 字数: 2670字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-7292.2008.03.006

摘要

采用微波等离子体CVD(MWCVD)法小批量地生产了金刚石涂层刀片,在金刚石薄膜沉积的过程中,研究了碳源浓度对沉积金刚石膜的均匀性的影响.用扫描电子显微镜(SEM)和激光拉曼光谱(Raman)对薄膜的表面形貌和质量进行了表征.结果表明较低的低甲烷浓度适合金刚石涂层刀片的批量生产.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪建华	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	123	698	14.0	19.0
2	满卫东	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	45	370	11.0	16.0
3	谢鹏	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	13	110	6.0	10.0
4	孙蕾	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	7	73	4.0	7.0
5	余学超	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	4	16	2.0	4.0