带有位移检测功能的纳米级定位平台

• 作者: 孙立宁 李昕欣 王家畴 荣伟彬
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 体硅微加工工艺 微型定位平台 面内侧壁压阻 有限元方法 压阻灵敏度
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 精密测量
• 页码范围: 376-382
• 页数: 7页
• 分类号: TP24
• 字数: 3671字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2008.05.012

摘要

为了解决纳米定位平台小型化、定位精度高的问题,采用体硅加工技术成功地研制了一种基于单晶硅的、带有位移检测功能的新型二自由度微型定位平台.介绍了定位平台的工作原理,通过理论计算和有限元模拟相结合的方法实现定位平台的结构设计.提出了一种面内侧壁压阻加工方法,成功地在定位平台上集成了压阻位移检测传感器.实验结果表明,有效驱动电压取23.68 V时,定位平台最大单轴输出位移为10 μm,运动平台的定位精度优于20nm;室温下压阻传感器的阻值为4.2 kΩ,击穿电压为75 V,在平台输出位移为10 nm时,压阻器件的灵敏度(电阻相对变化)达到了3.6×10-5,完全满足设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王家畴	哈尔滨工业大学机器人研究所	10	92	6.0	9.0
2	荣伟彬	哈尔滨工业大学机器人研究所	98	1491	23.0	33.0
3	孙立宁	哈尔滨工业大学机器人研究所	379	7003	43.0	61.0
4	李昕欣	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室	52	280	11.0	13.0