微波CVD金刚石薄膜用作LED散热片的制备

• 作者: 余学超 吴宇琼 孙蕾 汪建华 满卫东 谢鹏
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微波等离子体 化学气相沉积 金刚石膜 散热片 LED
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TQ164
• 字数: 2734字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2008.02.001

摘要

由于金刚石具有室温下最高的热导率,因此用化学气相沉积(CVD)制备的金刚石膜是大功率发光二极管(LED)理想的散热材料.本文利用微波等离子体CVD研究了不同沉积工艺下金刚石薄膜的生长.用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱对得到的金刚石薄膜进行了表征,并将金刚石薄膜用作LED散热片的散热效果进行了检测.结果表明:在硅衬底上沉积20-30μm的CVD金刚石薄膜可以有效地降低LED的工作温度;在相同的制备成本下,提高薄膜的厚度(甲烷浓度4%)比提高薄膜的质量(甲烷浓度2%)更有利于提高LED的散热效果.本研究表明微波等离子体CVD制备的金刚石薄膜是大功率LED的理想散热衬底材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪建华	武汉工程大学等离子体化学与新材料重点实验室	123	698	14.0	19.0
2	满卫东	武汉工程大学等离子体化学与新材料重点实验室	45	370	11.0	16.0
3	吴宇琼	江汉大学化学与环境工程学院	19	76	5.0	8.0
4	谢鹏	武汉工程大学等离子体化学与新材料重点实验室	13	110	6.0	10.0
5	孙蕾	武汉工程大学等离子体化学与新材料重点实验室	7	73	4.0	7.0
6	余学超	武汉工程大学等离子体化学与新材料重点实验室	4	16	2.0	4.0