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TiC薄膜的性能研究
TiC薄膜的性能研究
作者:
朱昌
梁海峰
邵霄
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
TiC薄膜
脉冲真空电弧离子镀
微结构
力学性能
摘要:
采用磁过滤直流电弧离子镀法在不同的CH4分压下制备了一系列的TiC薄膜,利用XRD和EDX表征了薄膜的相组成和微结构,用MCMS-1摩擦磨损测试仪,研究了不同CH4分压对薄膜摩擦性能的影响,采用DURAMIN-10型丹麦全自动显微硬度仪,研究不同CH4分压对薄膜硬度的影响.结果表明,不同CH4分压对薄膜的相组成、微结构和力学性能均有明显的影响,高的CH4分压下,薄膜的摩擦系数较低,CH4分压提高到0.15 Pa左右,薄膜内形成晶粒细小的单相TiC,进一步提高CH4分压,薄膜呈现非晶态.
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文献信息
篇名
TiC薄膜的性能研究
来源期刊
真空科学与技术学报
学科
物理学
关键词
TiC薄膜
脉冲真空电弧离子镀
微结构
力学性能
年,卷(期)
2008,(z1)
所属期刊栏目
技术交流
研究方向
页码范围
56-59
页数
4页
分类号
O484.4
字数
3283字
语种
中文
DOI
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
朱昌
西安工业大学陕西省薄膜技术重点实验室
39
245
9.0
13.0
2
邵霄
西安工业大学陕西省薄膜技术重点实验室
2
21
2.0
2.0
6
梁海峰
西安工业大学陕西省薄膜技术重点实验室
7
36
4.0
5.0
传播情况
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引文网络
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TiC薄膜
脉冲真空电弧离子镀
微结构
力学性能
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
真空科学与技术学报
主办单位:
中国真空学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
开本:
大16开
出版地:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
邮发代号:
创刊时间:
1981
语种:
chi
出版文献量(篇)
4084
总下载数(次)
3
总被引数(次)
19905
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