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摘要:
采用磁过滤直流电弧离子镀法在不同的CH4分压下制备了一系列的TiC薄膜,利用XRD和EDX表征了薄膜的相组成和微结构,用MCMS-1摩擦磨损测试仪,研究了不同CH4分压对薄膜摩擦性能的影响,采用DURAMIN-10型丹麦全自动显微硬度仪,研究不同CH4分压对薄膜硬度的影响.结果表明,不同CH4分压对薄膜的相组成、微结构和力学性能均有明显的影响,高的CH4分压下,薄膜的摩擦系数较低,CH4分压提高到0.15 Pa左右,薄膜内形成晶粒细小的单相TiC,进一步提高CH4分压,薄膜呈现非晶态.
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文献信息
篇名 TiC薄膜的性能研究
来源期刊 真空科学与技术学报 学科 物理学
关键词 TiC薄膜 脉冲真空电弧离子镀 微结构 力学性能
年,卷(期) 2008,(z1) 所属期刊栏目 技术交流
研究方向 页码范围 56-59
页数 4页 分类号 O484.4
字数 3283字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 朱昌 西安工业大学陕西省薄膜技术重点实验室 39 245 9.0 13.0
2 邵霄 西安工业大学陕西省薄膜技术重点实验室 2 21 2.0 2.0
6 梁海峰 西安工业大学陕西省薄膜技术重点实验室 7 36 4.0 5.0
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研究主题发展历程
节点文献
TiC薄膜
脉冲真空电弧离子镀
微结构
力学性能
研究起点
研究来源
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真空科学与技术学报
月刊
1672-7126
11-5177/TB
大16开
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
1981
chi
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