InP/空气隙结构的制作与特性

• 作者: 刘成 劳燕锋 吴惠桢 曹春芳 曹萌
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: InP/空气隙 侧向腐蚀 微拉曼光谱
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 光电子器件和系统
• 页码范围: 1188-1191
• 页数: 4页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 1904字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2008.09.012

摘要

研究了采用不同溶液制作InP/空气隙的侧向腐蚀工艺,对腐蚀速率、晶向选择性、表面形貌进行了分析;研究了粘附释放工艺;在上述基础上制作完成了InP/空气隙结构,并采用微拉曼光谱来分析其应力分布情况,证实了制作工艺的可靠性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘成	中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室	56	294	8.0	15.0
5	曹春芳	中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室	12	34	4.0	5.0
6	劳燕锋	中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室	24	69	5.0	7.0
7	曹萌	中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室	15	61	5.0	7.0