白光扫描干涉测量算法

• 作者: 卢荣胜 李其德
• 来源期刊: 中国仪器仪表
• 学科: 工学
• 关键词: 白光干涉 重心法 移相法 包络曲线拟合法 空间频域算法
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 科学仪器与装置
• 页码范围: 78-81
• 页数: 4页
• 分类号: TH74
• 字数: 3418字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-2852.2008.04.018

摘要

白光扫描干涉测量是光学测量中一种非常重要的方法.在干涉仪的结构中,光源的光谱宽度及扫描步长一定时,选择合适的算法对干涉信号进行处理能够达到更高的测量精度.对重心法、移相法、包络曲线拟合法、空间频域算法分别加以介绍和比较,为白光干涉信号的算法提供详尽的参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢荣胜	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	85	767	17.0	22.0
2	李其德	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	2	9	1.0	2.0