微波功率器件测试中的探针SOLT校准技术

• 作者: 朱学波 梁胜利 郭敏
• 来源期刊: 电子测量与仪器学报
• 学科: 工学
• 关键词: 央具 探针 误差 校准
• 年，卷（期）: 2008,（z2）
• 所属期刊栏目: 现代测试及计量技术
• 页码范围: 85-89
• 页数: 5页
• 分类号: TN454
• 字数: 2118字
• 语种: 中文

摘要

本文论述了微波半导体器件在参数测试过程中由于引入测试夹具及测试探针而带来的误差修正技术,以及测试仪器在连接测试探针情况下而采用的SOLT(短路、开路、负载、直通)校准的技术.采用上述方法可明显提高微波半导体器件参数的测试精度及精确度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱学波		2	2	1.0	1.0
2	郭敏		1	2	1.0	1.0
3	梁胜利		1	2	1.0	1.0