低密度台阶形闪耀光栅的制作

• 作者: 周常河 底彩慧 戴恩文 贾伟
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 衍射与光栅 闪耀光栅 低密度 衍射效率
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 实验技术与元件
• 页码范围: 183-186
• 页数: 4页
• 分类号: O436.1
• 字数: 3157字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2008.02.005

摘要

介绍了制作低密度闪耀光栅的过程,在制作时,对传统的制作过程进行了改进,有效提高了制作质量.以40 μm闪耀光栅为例介绍了制作的过程,得到了良好的光栅表面形貌,并且闪耀级次的衍射效率达到了70%以上.相比传统的制作方法,效率提高了5%～10%.对比了理论上的衍射效率,分析了实验误差,发现把存在对准误差的光栅进行处理将会有效地提高其衍射效率,为进一步提高闪耀光栅的衍射效率提供了依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周常河	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室	60	460	13.0	17.0
2	贾伟	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室	60	171	8.0	12.0
3	戴恩文	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室	19	64	5.0	7.0
4	底彩慧	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室	2	13	2.0	2.0