微型MEMS皮拉尼计研究

• 作者: 周吉龙 张锦文 金玉丰 陈肯乐
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 真空封装 皮拉尼计 真空度测试
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 513-516
• 页数: 4页
• 分类号: TN107
• 字数: 1863字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.03.038

摘要

介绍了一种用于检测真空密封腔体内真空度的器件--微型MEMS皮拉尼计.皮拉尼计是利用真空腔体内微小间隙间的热传导来检测真空度的[1].本文设计了一种微型MEMS横向皮拉尼计,结构非常简单,并利用浓硼扩散和键合技术实现了该横向MEMS皮拉尼计,制造工艺仅需3张光刻版.其试验结果显示该皮拉尼计在10 Pa～300 Pa范围内热阻系数与真空度呈很好的线性关系.