金刚石膜及类金刚石膜的光学应用研究进展

• 作者: 刘洋 卢常勇 王小兵 王淑云 程勇 袁孝 郭延龙
• 来源期刊: 激光与光电子学进展
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石膜 类金刚石膜 增透膜 保护膜
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: 光学薄膜
• 页码范围: 44-51
• 页数: 8页
• 分类号: O484
• 字数: 10229字
• 语种: 中文

摘要

金刚石膜及类金刚石(DLC)膜由于具有宽光谱透过率高、硬度高、摩擦系数小、化学稳定性好等优点,可以作为多种光学材料如硅、锗、玻璃、硫化锌、MgF2,HgCdTe,KCl等的增透/保护膜,起到抗磨损、抗腐蚀、抗潮解和抗氧化的作用.金刚石膜及类金刚石膜已被应用于太阳能硅电池、高功率CO2激光器窗口、潜望镜红外(IR)窗口、飞机前视红外窗口、导弹头罩窗口和宇航探测器等.总结了这一方面的应用和研究进展,展示了金刚石膜及类金刚石膜巨大的优越性与广阔的应用前景.