简化流程的多晶硅像素电极透反LCD基板的研究

• 作者: 吴春亚 孟志国 李阳 王文 郭海成
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: LCD 多晶硅薄膜电极 光谱校正 透反LCD 简化流程
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: 光电子器件和系统
• 页码范围: 872-876
• 页数: 5页
• 分类号: TN141.9
• 字数: 3904字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2008.07.004

摘要

鉴于MIC P+-Poly-Si薄膜具有比较好的电学特性和近似半透半反的光学特性,本文提出一种以此用作透反双重功能LCD下电极的LCD基板的设计考虑.并针对MIC多晶硅薄膜在红、绿和蓝三色区的透射率与反射率的差异,采用不同面积的铝反射片巧妙地予以平衡和补偿.校正结果表明在可见光范围内,其红光、绿光和蓝光处的透射率和反射率基本符合白光平衡的要求.用该薄膜多晶硅作LCD像素电极技术制备的AMLCD中,其像素电极既是驱动TFT的漏极的延伸,而铝反射镜又是与TFT的电极连线同层制备.这样,不仅可以制备出性能良好透、反双功能的LCD基板,而且明显简化了AMLCD制备工艺流程.工艺流程的简化将有利降低制造成本.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王文	香港科技大学电机与电子工程系	16	97	5.0	9.0
2	吴春亚	香港科技大学电机与电子工程系	2	2	1.0	1.0