含氦纳米晶钛膜的PBS和XRD研究

• 作者: 刘宁 吴兴春 安竹 宋应民 庞洪超 彭述明 杨本福 段艳敏 王培禄 罗顺忠 郑思孝 龙兴贵
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 纳米晶钛膜 晶粒大小 氦含量
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 核化学、放射性药物和核医学
• 页码范围: 58-62
• 页数: 5页
• 分类号: TB39|TL99
• 字数: 3508字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2008.01.014

摘要

为研究不同晶粒尺寸纳米钛膜的储氦行为,在He-Ar混合气体下,用磁控溅射方法沉积纳米晶钛膜,利用PBS(proton backscattering)、XRD(X-ray diffraction)对膜的氦含量和微观结构及晶粒大小进行了研究.结果表明:在其它实验参数不变的情况下,当沉积温度从60℃升至350℃时得到均匀分布的含氦量(指原子百分比)从38.6%逐渐降至9.2%的钛膜,其平均晶粒由13.1 nm增加到44.2 nm;当He/Ar分压比分别为6、10、15、19时得到均匀分布的含氦量分别为17.6%、47.2%、48.3%和38.6%的钛膜.He的引入引起(002)晶面衍射峰向小角度移动,但(100)晶面衍射峰不变,即晶胞参数c增加,a不变化;随膜中He含量的增加,衍射峰展宽,晶粒变小,显示出氦的掺入有抑制纳米晶粒长大的趋势.