氮化硅薄膜中纳米非晶硅颗粒的键合结构及光致发光

• 作者: 丁文革 于威 傅广生 张江勇 李亚超 杨彦斌
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 傅里叶红外透射谱 光吸收谱 纳米硅粒子镶嵌薄膜 光致发光
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 3661-3665
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 3819字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.06.059

摘要

采用螺旋波等离子体化学气相沉积技术以N2/SiH4/H2为反应气体制备了镶嵌有纳米非晶硅颗粒的氢化氮化硅薄膜,通过改变N2流量实现了薄膜从红到蓝绿的可调谐光致发光.傅里叶红外透射和紫外-可见光吸收特性分析表明,所生长薄膜具有较高的氢含量,N2流量增加使氢的键合结构发生变化,非晶硅颗粒尺寸减小,所对应的薄膜的光学带隙逐渐增加和微观结构有序度减小.可调光致发光(PL)主要来源于纳米硅颗粒的量子限制效应发光,随N2流量增加,PL的谱线展宽并逐渐增强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅广生	河北大学物理科学与技术学院	184	817	13.0	17.0
2	于威	河北大学物理科学与技术学院	91	346	9.0	13.0
3	李亚超	河北大学物理科学与技术学院	1	9	1.0	1.0
4	丁文革	河北大学物理科学与技术学院	28	80	5.0	8.0
5	张江勇	河北大学物理科学与技术学院	4	18	2.0	4.0
6	杨彦斌	河北大学物理科学与技术学院	10	34	3.0	5.0