热丝CVD法制备金刚石管

• 作者: 汪建华 熊军 王传新 谢鹏
• 来源期刊: 武汉工程大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 金刚石管 热丝化学气相沉积法
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 页码范围: 73-75
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 1781字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-2869.2008.01.021

摘要

以钨丝作为基体,用氢气和丙酮作为反应气体,在热丝化学气相沉积装置中制备出了金刚石管,其生长速度达到了4 um/h.扫描电镜和激光拉曼光谱的测试结果表明制备出的金刚石管质量较好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王传新	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	34	121	6.0	8.0
2	汪建华	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	123	698	14.0	19.0
3	谢鹏	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	13	110	6.0	10.0
4	熊军	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	4	35	3.0	4.0