金刚石基压电薄膜研究进展

• 作者: 姚宁 宋平新 张兵临 杨晓朋 王新昌
• 来源期刊: 材料导报：纳米与新材料专辑
• 学科: 工学
• 关键词: 压电薄膜 金刚石 声表面波
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 页码范围: 301-304
• 页数: 4页
• 分类号: TN65

摘要

移动通信技术的迅猛发展扩大了高频声表面波（SAW）器件的应用范围，金刚石因具有最高的声表面波传播速度而使得压电薄膜/金刚石多层结构成为高频声表面波器件的首选材料。综述了ZnO／diamond、A1N／diamond和LiNbO3／diamond多层结构声表面波特性理论研究及实验研究进展，并展望了其今后的发展趋势。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚宁	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	122	692	12.0	18.0
2	张兵临	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	95	608	12.0	18.0
3	王新昌	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	30	79	4.0	7.0
4	宋平新	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	12	21	2.0	4.0
5	杨晓朋	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	3	4	2.0	2.0