精密硅片台的运动控制

• 作者: 严天宏 张尚盈 赵慧 陈学东
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 超精密 硅片台 主从控制 力解耦 纳米
• 年，卷（期）: 2008,（12）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 1474-1479
• 页数: 6页
• 分类号: TP332.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2008.12.019

摘要

描述一种应用于集成电路制造的超精密硅片台系统及其运动控制.介绍了超精密硅片台系统配置及其主从控制原理,结合粗动台和微动台两者的优点,可以实现运动控制的大行程和高精度.基于闭环控制,给出精密硅片台机电系统动力学辨识的方法并进行了实验辨识.利用环路整形技术,研究并联PID控制器和鲁棒控制器的自动综合方法.基于实际实现,提出力解耦控制策略.仿真结果表明,利用双台结构的超精密硅片台的定位精度可达到10nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈学东	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	56	741	16.0	24.0
2	严天宏		6	55	5.0	6.0
3	张尚盈	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	11	68	6.0	8.0
4	赵慧		42	185	8.0	11.0