大行程纳米级步进压电微动台的特性研究

• 作者: 权哲浩 李光鲜 林玉池 赵美蓉 齐永岳
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 压电微动台 有限元分析 尺蠖运动 正交实验法 逐步回归
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 沿革与探讨
• 页码范围: 39-41,45
• 页数: 4页
• 分类号: TP2
• 字数: 1864字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2008.02.013

摘要

运用有限元分析方法,建立纳米级步进压电微动台的实体模型并进行了仿真计算,考察了结构参数对步进型压电微动台性能的影响,得到了压电微动台的固有频率和振型.采用正交实验法设计结构参数,分析了不同因素对压电微动台的固有频率和振动幅值的影响,得到了影响二者之比的4个因素的最优设计参数.根据逐步回归分析的方法建立了结构设计参数的数学模型,从而定量地分析各自变量与一阶固有频率之间的关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林玉池	天津大学精密测试技术及仪器国家重点试验室	135	1717	21.0	34.0
2	赵美蓉	天津大学精密测试技术及仪器国家重点试验室	97	969	15.0	26.0
3	齐永岳	天津大学精密测试技术及仪器国家重点试验室	25	239	8.0	14.0
4	权哲浩	天津大学精密测试技术及仪器国家重点试验室	3	10	2.0	3.0
8	李光鲜	金日成综合大学物理学院	1	3	1.0	1.0