高抗激光损伤阈值介孔SiO2减反射膜

• 作者: 吕海兵 吴东 孙予罕 张磊 徐耀 杨瑜杰 王海军 蒋晓东 赵松楠
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 介孔SiO2膜 SBA-15 激光损伤阈值 减反性能 溶剂蒸发自组装
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 935-938
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2790字
• 语种: 中文

摘要

用P123作模板剂,通过正硅酸乙酯的水解缩聚和溶剂蒸发自组装过程在K9玻璃上制备介孔SiO2膜.应用FT-IR,XRD,N2 吸附-脱附,AFM和UV-Vis表征手段研究了薄膜的介孔结构和光学性能,并使用"R-on-1" 模式,以Nd:YAG脉冲激光(9.2 ns, 1 064 nm)测试了薄膜的激光损伤阈值.结果表明:所镀制单层介孔SiO2膜具有规整的2D p6 mm长周期结构,为SBA-15型,膜层表面比较平整(均方根粗糙度为2.923 nm),在1 064 nm处的透过率为99.5%, 换算为激光脉宽为1 ns时,膜层的激光损伤阈值为21.6 J/cm2,显示出了较好的减反性能和抗激光损伤性能.