CVD金刚石簿膜涂层工具的研究概况

• 作者: 方莉俐
• 来源期刊: 磨料磨具通讯
• 学科: 工学
• 关键词: CVD金刚石 涂层工具 簿膜 热膨胀系数 低摩擦系数 化学稳定性 半导体掺杂 化学性质
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 页码范围: 14-15
• 页数: 8页
• 分类号: TQ174.758

摘要

1．引言 金刚石具有优异的物理、化学性质，在自然界所有物质中具有最高的硬度、室温下有最高的热导率，同时具有极低的热膨胀系数、低摩擦系数、良好的化学稳定性、大的禁带宽度（5．5eV）、最高的声传播速度、较高的半导体掺杂性以及从远红外光区到紫外光区的光学透过性，如此众多的优异性能使得其在机械加工、微电子、光学等许多领域有着广阔的应用前景。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方莉俐		14	56	5.0	7.0