金属线宽与间距渐变的片上螺旋电感设计规则研究

• 作者: 刘婧 叶红波 唐深群 曹福全 王勇 石艳玲 薛琳艳 陈大为 黄浩
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 片上螺旋电感 欧姆损耗 磁场损耗 渐变结构 品质因子
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 纳米固态及真空电子器件
• 页码范围: 1116-1119
• 页数: 4页
• 分类号: TM55
• 字数: 2154字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2008.04.012

摘要

在分析片上螺旋电感的磁场分布及射频损耗机制的基础上,研究了电感的金属线宽及线圈间距的变化对电感性能的影响,在大量数值分析基础上提出了金属线宽与间距之和不变,而金属线宽与间距之比从外圈到内圈逐渐减小的渐变型片上螺旋电感,并得到了实验验证,多组样品的测试结果与数值分析结果相吻合,以2.4 GHz频段处为例,在高阻硅衬底上制备的5 nH渐变结构电感的品质因子Q为11,比具有相同外径和电感值的固定金属线宽及间距的传统电感高19.6%.