基于MEMS的压电微泵建模与优化

• 作者: 刘成良 崔琦峰 查选芳
• 来源期刊: 机械工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 无阀微泵 压电驱动 数值计算 结构优化
• 年，卷（期）: 2008,（12）
• 所属期刊栏目: 综合技术应用
• 页码范围: 131-136
• 页数: 6页
• 分类号: TH38|TP271.3
• 字数: 3744字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3901/JME.2008.12.131

摘要

以压电驱动的无阀微泵为研究对象,根据扩张管/收缩管的压力损失系数和连续方程,建立了无阀微泵的理论模型.利用有限元分析软件,建立了无阀微泵有限元模型,进行了耦合场仿真分析.模拟并分析了不同边界条件下驱动电压、电压频率、泵膜厚度、压电薄膜厚度和压电材料对无阀微泵输出特性的影响.仿真结果显示,无阀微泵具有很好的整流特性,并且驱动电压越大,输出特性越好.在局部固定边界条件下,当压电薄膜上施加电场强度为500 V/mm的驱动电压时,存在最优的压电薄膜厚度,使得微泵的输出流量最大.研究结果为无阀微泵的优化设计提供了依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘成良	上海交通大学机械工程与动力学院	200	2288	27.0	38.0
2	崔琦峰	上海交通大学机械工程与动力学院	2	20	2.0	2.0