多晶硅铸锭炉的热场结构

• 来源期刊: 有机硅氟资讯
• 学科: 工学
• 关键词: 场结构 多晶硅 炉体 铸锭 保温隔热 制造技术 加热器 热交换
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 页码范围: 26
• 页数: 1页
• 分类号: TN123

摘要

一种多晶硅铸锭炉的热场结构，属多晶硅铸锭炉热场结构的设计与制造技术领域，主要由炉体（1），置于炉体（1）内带吊杆（12）的保温隔热笼体（2），置于保温隔热笼体（2）上部的保温隔热顶板（6），下部带支柱（4）的保温隔热底板（5），置于保温隔热笼体（2）内固定于保温隔热顶板（6）上的加热器（7），固定于支柱（4）顶部带坩埚（13）的热交换台（3），置于加热器（7）和热交换台（3）之间的保温隔热环条（9）等构成。