低成本柔顺板式精密定位平台的理论与试验

• 作者: 张宪民 王华
• 来源期刊: 机械工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 低成本 弹性变形 精密定位 平板弹簧
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 工程技术应用
• 页码范围: 177-181
• 页数: 5页
• 分类号: TG156
• 字数: 3355字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0577-6686.2008.10.029

摘要

基于柔顺薄板的弹性变形原理,提出一种低成本、整体式柔顺精密定位平台的设计方法.设计一种平板弹簧机构,使平台能够在较低精度驱动器的驱动下获得高精度的位移输出,从而大幅度降低精密定位平台的成本.建立平台的刚度模型,分析驱动器的精度与平台的定位精度之间的相互关系.最后,分析加工误差对平台定位精度的影响,得出影响定位精度的关键结构参数.通过试验测试,得出驱动器的输入位移和精度分别为4 mm和10 μm,平台的输出位移和精度分别为9 μm和40 nm,线性度为0.33％,从而验证了该设计方法的正确性.该平台结构紧凑,成本低,具有很好的性价比,应用前景广阔.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张宪民	华南理工大学机械工程学院	193	2458	25.0	40.0
2	王华	华南理工大学机械工程学院	12	189	9.0	12.0