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低速p/i界面缓冲层对高速沉积微晶硅太阳电池性能的影响
低速p/i界面缓冲层对高速沉积微晶硅太阳电池性能的影响
作者:
Chen Xin-Liang
Han Xiao-Yan
Li Gui-Jun
Sun Jian
Yuan Yu-Jie
侯国付
张德坤
张晓丹
耿新华
魏长春
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
μc-Si:H太阳电池
甚高频等离子体增强化学气相沉积
p/i界面层
摘要:
在采用高压高功率的甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术高速沉积微晶硅(μc-Si:H)太阳电池过程中,产生的高能离子对薄膜表面的轰击作用会降低薄膜质量和破坏p型掺杂层(p层)与本征层(i层)之间的界面特性.针对该问题提出在电池中引入低速沉积的p/i界面层的方法,即在P层上先低速沉积一薄层本征μc-Si:H薄膜,然后再高速沉积本征/μc-Si:H薄膜.实验结果表明,引入低速方法沉积的界面层有效地提高了p/i界面特性和i层微结构的纵向均匀性,而随界面层厚度的增加,i层中的缺陷态先降低后增加,这使得界面层厚度存在着最佳值,实验得到低速沉积界面层的最佳厚度为100 nm,用该厚度制备得到的电池比没有界面层的电池光电转换效率提高了约一个百分点.通过优化其他条件,采用0.85 nm/s的沉积速率制备得到单结μc-Si:H太阳电池的光电转换效率可以达到8.11%.
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内容分析
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关键词热度
相关文献总数
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文献信息
篇名
低速p/i界面缓冲层对高速沉积微晶硅太阳电池性能的影响
来源期刊
物理学报
学科
物理学
关键词
μc-Si:H太阳电池
甚高频等离子体增强化学气相沉积
p/i界面层
年,卷(期)
2008,(8)
所属期刊栏目
物理学交叉学科及有关科学技术领域
研究方向
页码范围
5284-5289
页数
6页
分类号
O4
字数
3383字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:1000-3290.2008.08.098
五维指标
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(0)
共引文献
(0)
参考文献
(0)
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研究主题发展历程
节点文献
μc-Si:H太阳电池
甚高频等离子体增强化学气相沉积
p/i界面层
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
物理学报
主办单位:
中国物理学会
中国科学院物理研究所
出版周期:
半月刊
ISSN:
1000-3290
CN:
11-1958/O4
开本:
大16开
出版地:
北京603信箱
邮发代号:
2-425
创刊时间:
1933
语种:
chi
出版文献量(篇)
23474
总下载数(次)
35
总被引数(次)
174683
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
国家重点基础研究发展计划(973计划)
英文译名:
National Basic Research Program of China
官方网址:
http://www.973.gov.cn/
项目类型:
学科类型:
农业
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