基于工件面形精度的超精密机床误差建模与分析

• 作者: 孙涛 李国 董申
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密机床 面形精度 运动模型 空间几何误差 相关性分析
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 精密加工
• 页码范围: 469-474
• 页数: 6页
• 分类号: TG519.3|TG502.13
• 字数: 3413字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2009.05.016

摘要

在影响超精密加工工件面形精度的诸多因素中,机床的空间几何误差与运动误差往往占主要作用.在本单位一台新型超精密加工试验台的加工试验中,出现了较大的面形误差.为了辫识影响工件面形精度的主要误差,首先将机器人运动学理论与多体系统运动学理论相结合,建立新型超精密加工试验台的实际运动模型;其次,定量分析各个误差,如对刀误差、两轴不平行度误差和摆动中心定位误差等对工件面形精度的影响,得到工件面形精度(波峰-波谷值)随不同误差的变化规律;最后进行加工试验,并用PGI1240轮廓仪检测工件面形,将实际加工工件的检测结果与各个误差的分析结果进行相关性分析.通过上述分析,确定试验台两轴不平行是影响工件面形精度的主要误差因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董申	哈尔滨工业大学精密工程研究所	232	4378	35.0	50.0
2	孙涛	哈尔滨工业大学精密工程研究所	124	1024	17.0	23.0
3	李国	哈尔滨工业大学精密工程研究所	6	162	5.0	6.0