磁流变抛光技术与装备研究

• 作者: 何建国
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁流变抛光技术 非球面元件 超精密加工 装备 磁流变抛光液 强激光武器 流变特性 光学制造
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 页码范围: 69-70
• 页数: 2页
• 分类号: TN929.11

摘要

磁流变抛光技术利用磁流变抛光液的可控流变特性进行加工，被誉为光学制造界的革命性技术。重大光学工程、光刻机系统以及强激光武器等，对光学平面、球面及非球面元件的超精密加工提出了较强的需求，传统抛光技术已经难以满足这些元件的加工质量要求。