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SEAJ:半导体及FPD制造设备将正式复苏
SEAJ:半导体及FPD制造设备将正式复苏
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摘要：
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半导体行业超纯水制造技术
半导体
超纯水
节能减排
半导体制造设备预维修调度的知识进化算法研究
半导体
制造设备
预维修调度
知识进化算法
半导体及集成电路工艺加工设备的调研与采购
调研与采购
需求
设备费用
技术能力
服务与技术支持
商务模式
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半导体芯片制造调度并行蚁群算法研究
半导体芯片制造系统
蚁群算法
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期刊影响力
电子工业专用设备
主办单位：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
1004-4507
CN：
62-1077/TN
开本：
大16开
出版地：
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
邮发代号：
创刊时间：
1971
语种：
chi
出版文献量（篇）
3731
总下载数（次）
31
总被引数（次）
10002
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