新型钽酸锂薄膜热释电系数测试研究

• 作者: 张德银 李金华 黄大贵
• 来源期刊: 电子测量与仪器学报
• 学科: 工学
• 关键词: 钽酸锂薄膜 热释电系数 电荷积分法 测试 误差分析
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 页码范围: 80-84
• 页数: 5页
• 分类号: TN215
• 字数: 2957字
• 语种: 中文

摘要

用溶胶-凝胶法在导电的Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了一种1 μm厚的新型钽酸锂薄膜;采用直流电压对新制备的薄膜进行了极化;选择了电荷积分法,设计了与钽酸锂薄膜阻抗匹配的测试电路,组建了新的水浴搅拌加热的热释电系数测试系统,完成了薄膜的热释电系数测试.测试结果表明,钽酸锂薄膜有较好的热释电特性,在6 V、15 min极化条件下,测得热释电系数为122.8 μC/m2K,测试精度为1.14 %,说明新开发的测试系统对新材料热释电系数测试具有重要的实用价值.实验误差分析表明,采用适合的搅拌速度和加热功率、采用更高精度的温度传感器,设计完全匹配的测试电路,是进一步提高钽酸锂薄膜热释电系数测试精度的最有效途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄大贵	电子科技大学机电工程学院	84	695	15.0	20.0
2	李金华	江苏工业学院功能材料实验室	33	277	9.0	15.0