高纯Er_2O_3靶材的低温无压烧结及性能研究

• 作者: 邓志军 邓燕来
• 来源期刊: 稀有金属与硬质合金
• 关键词: 纳米Er_2O_3粉 高纯Er_2O_3靶材 低温无压烧结 密度 断口形貌
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 15-17,21
• 页数: 4页
• 分类号: TF125.42
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-0536.2009.04.004

摘要

以纳米Er_2O_3粉为原料,通过1 450 ℃低温无压烧结,成功制取了相对密度为近90%的高纯Er_2O_3陶瓷靶材.对采用不同形状纳米Er_2O_3粉所制靶材进行了断口形貌分析及密度测试,相关结果表明,以三维近球形纳米Er_2O_3粉为原料,在低温无压下烧结所制得靶材的性能较优.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓志军		5	14	3.0	3.0
2	邓燕来		2	4	1.0	2.0