MOEMS惯性器件技术研究进展

• 作者: 夏君磊 徐宇新 王巍
• 来源期刊: 导航与控制
• 学科: 交通运输
• 关键词: 微光机电系统 陀螺 加速度计
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 页码范围: 40-45
• 分类号: U666.1
• 字数: 3125字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2009.04.009

摘要

本文介绍了MOEMS惯性器件的概念和特点,总结了国内外MOEMS陀螺和MOEMS加速度计的研究方案和研究进展,指出了未来MOEMS惯性器件可能的发展方向和发展前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王巍		39	283	9.0	15.0
2	徐宇新		12	15	2.0	3.0
3	夏君磊		3	3	1.0	1.0