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利用化工节能新技术实现多晶硅绿色制造
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摘要：
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利用多晶硅副产物制备氯化钡的研究
多晶硅副产物
四氯化硅
氯化钡
水解
多晶硅还原炉能耗分析及节能措施
多晶硅
改良西门子法
还原炉
能耗
能量平衡
物料平衡
多晶硅及有机硅工业副产物综合利用技术
多晶硅
三氯氢硅
有机硅单体
气相二氧化硅
综合利用
多晶硅副产物在生产系统内的循环利用
多晶硅
四氯化硅
冷氢化
二氯二氢硅
反歧化
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期刊影响力
半导体行业
主办单位：
江苏省半导体行业协会
中国半导体行业协会集成电路分会
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
无锡市梁溪路14号
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
1222
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