离子溅射镀膜对纳米材料形貌观察的影响

• 作者: 尹荔松 李昌明 范海陆
• 来源期刊: 五邑大学学报（自然科学版）
• 学科: 化学
• 关键词: 纳米材料 离子溅射 镀膜 形貌改变
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 页码范围: 23-25
• 页数: 3页
• 分类号: O657.32
• 字数: 1606字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7302.2009.02.006

摘要

通过观察场发射扫描电子显微镜下纳米Cu颗粒离子溅射镀膜前后纳米尺度的形貌,发现镀膜改变了纳米Cu颗粒的形貌,分析了离子溅射膜的形成过程,探讨了镀膜改变纳米颗粒形貌的原因,指出了观察纳米颗粒形貌时应该注意的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尹荔松	五邑大学数理系	55	245	9.0	12.0
2	李昌明	五邑大学数理系	19	156	8.0	12.0
3	范海陆	五邑大学数理系	16	86	5.0	9.0