载料气体对化学气相沉积合成石英玻璃沉积速率的影响

• 作者: 徐驰 顾真安 饶传东
• 来源期刊: 硅酸盐学报
• 学科: 工学
• 关键词: 载料气体 合成石英玻璃 沉积速率 反应机理
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 研究论文,英文
• 页码范围: 1796-1802
• 页数: 7页
• 分类号: TQ171
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0454-5648.2009.10.038

摘要

采用化学气相沉积工艺合成了石英玻璃,研究了沉积速率与载料气体之间的关系.利用扫描电子显微镜观察火焰中SiO2粒子微观形态和尺寸.通过对SiCl4水解、氧化反应速率的计算表明:在一定温度下,当同时存在充足的H2O和O2时,SiCl4氧化反应速率远高于水解反应速率.当载料气体为H2,Sicl4流量为25g/min时,观察火焰中SiO2粒子的微观形态发现存在大量非球状无定形聚集体,表明SiCl4未反应完全,沉积速率较低,约为220～240 g/h.同样SiCl4流量下.采用O2作为载料气体时火焰中颗粒均为球状,SiCl4全部反应,沉积速率较高,达到300～350 g/h.当SiCl4流量为15 g/min时,载料气体的改变对SiO2粒子形态和尺寸没有影响,SiCl4可以全部反应,沉积速率基本相同.当SiCl4流量较高(25 g/min)时,载料气体对反应机理和沉积速率有显著影响,若要SiCl4在极短时间内完全反应生成球状SiO2粒子,需选择O2作为载料气体,充足的O2保证SiCl4可以通过氧化反应全部反应完毕,沉积速率相应提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾真安		27	263	9.0	15.0
2	徐驰	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	1	7	1.0	1.0
3	饶传东		5	13	2.0	3.0