金刚石膜抛光表面缺陷对其红外透射率的影响

• 作者: 戴良刚 沈兆侠 沈茂松 秦康生 陈曙光 陈荣发
• 来源期刊: 扬州大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: CVD金刚石膜 表面缺陷 红外透射率
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 页码范围: 30-33
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.442
• 字数: 2535字
• 语种: 中文

摘要

通过等离子体喷射CVD(chemical vapor deposition)方法生长了光学级金刚石厚膜,运用电火花和机械抛光技术对厚膜进行了双面抛光,并研究抛光表面缺陷对厚膜红外透射率的影响.结果表明:表面的台阶、孔洞、裂纹和沟槽等缺陷均会引起入射红外光波的散射和吸收,从而导致金刚石厚膜透射率的下降.表面的台阶、孔洞、裂纹和沟槽等缺陷厚膜的平均红外透射率分别为46.53%,62.56%,50.11%,58.26%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦康生	扬州大学机械工程学院	17	66	3.0	8.0
2	陈荣发	扬州大学机械工程学院	51	260	8.0	13.0
3	沈茂松	扬州大学机械工程学院	9	22	2.0	4.0
4	陈曙光		4	5	1.0	2.0
5	沈兆侠	扬州大学机械工程学院	7	35	4.0	5.0
6	戴良刚	扬州大学机械工程学院	4	13	2.0	3.0