多弧离子镀(Ti,Al,Zr,Cr)N多组元氮化物膜的研究

• 作者: 刘常升 张钧 赵时璐
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 无机非金属材料 多弧离子镀 TiN基硬质膜 高速钢 偏压
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 707-711
• 页数: 5页
• 分类号: TB321
• 字数: 2546字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2010.06.24

摘要

采用多弧离子镀技术,使用Ti Al Zr合金靶和Cr靶,在W18Cr4V高速钢基体上沉积(Ti,Al,Zr,Cr)N多组元氮化物膜.利用扫描电镜(SEM)、电子能谱仪(EDS)和X射线衍射(XRD)对薄膜的成分、结构和微观组织进行测量和表征;利用划痕仪、显微硬度计测评薄膜的力学性能.结果表明,获得的多组元氮化物膜仍具有B1 NaCl型的TiN面心立方结构;薄膜的成分除-50V偏压外,其它偏压下的变化均不明显;增大偏压可减少薄膜表面的液滴污染,提高薄膜的显微硬度及膜/基结合力,最高值可分别达到HV3300和190N.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘常升	东北大学材料各向异性与织构工程教育部重点实验室	252	2803	27.0	39.0
2	张钧	沈阳大学机械工程学院	49	208	8.0	12.0
4	赵时璐	东北大学材料各向异性与织构工程教育部重点实验室	5	56	4.0	5.0