锑化铟p-on-n光伏器件的离子注入设计

• 作者: 万锐敏 杨文运 苏玉辉 雷胜琼 龚晓霞
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 锑化铟 LSS理论 优化掺杂 离子注入 理论计算
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 232-235
• 页数: 4页
• 分类号: TN213
• 字数: 3139字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2009.04.012

摘要

通过理论分析计算获得了光伏型InSb红外探测器的的优化掺杂浓度及结深.利用LSS理论估算了Be+注入InSb的射程及标准偏差,同时设计了与优化掺杂浓度及结深相对应的注入条件.实验所得典型的R0A为值4.7×103～3×103 Ω·cm2,量子效率为0.65～0.7之间.实验R0A值及量子效率与理论结果基本吻合.此工作对离子注入工艺有一定的参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	万锐敏		7	21	3.0	4.0
2	龚晓霞		7	31	3.0	5.0
3	苏玉辉		8	30	3.0	5.0
4	杨文运		10	51	4.0	7.0
5	雷胜琼		4	44	4.0	4.0