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大孔径内孔表面金刚石薄膜涂层的制备
大孔径内孔表面金刚石薄膜涂层的制备
作者:
孙方宏
彭东辉
郑华
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
金刚石薄膜
衬底预处理
热丝化学气相沉积
摘要:
应用热丝化学气相沉积(HFCVD)工艺,并采用合适的衬底预处理方法和优化的工艺参数,在大孔径硬质合金内孔表面沉积了金刚石薄膜.分别采用SEM、EDS和喇曼光谱依次对衬底预处理前后内孔表面及沉积的金刚石薄膜进行了表征,并通过压痕实验评估了薄膜的附着强度.该压痕实验结果与薄膜的SEM及喇曼光谱表征的结果具有一致性.结果表明:采用合适的衬底预处理方法和优化的HFCVD工艺,可以在大孔径硬质合金内孔表面沉积高质量的金刚石薄膜.
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溶胶-凝胶法在金刚石表面涂覆纳米TiO2薄膜
金刚石
TiO2
溶胶凝胶
表面涂膜
内容分析
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内容分析
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关键词热度
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文献信息
篇名
大孔径内孔表面金刚石薄膜涂层的制备
来源期刊
金刚石与磨料磨具工程
学科
工学
关键词
金刚石薄膜
衬底预处理
热丝化学气相沉积
年,卷(期)
2009,(5)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
13-16,22
页数
5页
分类号
TQ164
字数
2033字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1006-852X.2009.05.003
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
孙方宏
上海交通大学机械与动力工程学院
91
969
17.0
25.0
2
彭东辉
24
67
5.0
7.0
3
郑华
上海交通大学机械与动力工程学院
45
205
10.0
13.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(10)
共引文献
(23)
参考文献
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节点文献
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同被引文献
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二级引证文献
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参考文献(2)
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引证文献(0)
二级引证文献(0)
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引证文献(1)
二级引证文献(0)
2017(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2018(2)
引证文献(1)
二级引证文献(1)
2019(2)
引证文献(0)
二级引证文献(2)
研究主题发展历程
节点文献
金刚石薄膜
衬底预处理
热丝化学气相沉积
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
金刚石与磨料磨具工程
主办单位:
郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
出版周期:
双月刊
ISSN:
1006-852X
CN:
41-1243/TG
开本:
16开
出版地:
郑州市高新区梧桐街121号
邮发代号:
36-34
创刊时间:
1970
语种:
chi
出版文献量(篇)
2468
总下载数(次)
7
总被引数(次)
15377
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