状态机在离子注入机中的应用

• 作者: 罗宏洋
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 有限状态机 层次状态机 建模
• 年，卷（期）: 2009,（9）
• 所属期刊栏目: 基础技术应用
• 页码范围: 49-53
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.3
• 字数: 3356字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2009.09.010

摘要

报告了在离子注入机控制软件建模时使用状态机的原因.以及控制软件的结构、状态机的层次结构和由状态机自动生成代码的方法,并介绍了应用状态机设计开发的离子注入机控制软件的优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗宏洋	中国电子科技集团公司电子第四十八研究所	4	8	2.0	2.0