CN200710053047．4金刚石膜的抛光方法

• 来源期刊: 磨料磨具通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石膜 抛光机 加热温度 Al2O3 碳化物 纯金属 膜表面 真空炉
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 页码范围: 36
• 页数: 1页
• 分类号: TG142.33

摘要

本发明涉及一种金刚石膜的抛光方法。金刚石膜的抛光方法，其特征在于它包括如下步骤：1）首先在金刚石膜表面镀涂能够与碳形成强碳化物的纯金属或合金；2）在真空炉中加热，真空度10^-1-10^-4Pa，加热温度大于800℃，时间5～30分钟，在表面形成碳化物层，厚度为0．05～0．5μm；3）在机械抛光机上，采用硬度比金刚石低的SiC或Al2O3作为磨料，对步骤2）所得的金刚石膜进行抛光，时间5～30分钟；