Mg0.66Zn0.34O薄膜的微观结构及光学性能

• 作者: 刘全生 卢利平 吴昊 张希艳 柏朝晖 王晓春 王能利 米晓云 袁东方
• 来源期刊: 硅酸盐学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌镁薄膜 光学性能 石英玻璃衬底 日盲区
• 年，卷（期）: 2009,（9）
• 所属期刊栏目: 研究论文,英文
• 页码范围: 1555-1559
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0454-5648.2009.09.020

摘要

采用溶胶-凝胶法在石英玻璃衬底上制备了Mg0.66Zn0.34O薄膜,研究了Mg0.66Zn0.34O薄膜的结构和光学性能,结果表明:石英玻璃衬底上Mg0.66Zn0.34O薄膜旱面心立方岩盐结构,晶格常数为0.423 38m,比MgO的晶格常数(0.0021nm)大.扫描电镜分析显示:薄膜均匀且平均粒径约为10nm.吸收光谱表明:薄膜的吸收带边位于276nm,相应的禁带宽度为4.49eV,该薄膜的吸收边位于日盲区;发光光谱由3个发射峰组成,峰值分别位于384.8 nnl(3.22 ev)、443.7 nm(2.79 eV)和532.9 nm(2.33 eV),激发光谱峰值位于379 nm(3.28 ev).