Si衬底上Mg0.3Zn0.7O薄膜结构及光学性能

• 作者: 刘全生 卢利平 孔智艳 张希艳 柏朝晖 王晓春 王能利 米晓云
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 工学
• 关键词: Mg0.3Zn0.7O薄膜 溶胶凝胶法 硅衬底 紫外发光
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 试验与技术
• 页码范围: 619-623
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 字数: 3118字
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶-凝胶旋涂法在Si衬底上制备了Mg0.3Zn0.7 O薄膜,采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外-可见荧光光谱仪和紫外-可见分光光度仪测试了Mg0.3Zn0.7O薄膜的结构和光学性能.结果表明:Si衬底上Mg0.3.Zn0.7O薄膜以六方相ZnO纤锌矿为主,存在少部分立方相MgO,薄膜均匀,平均粒径约为40 nm.吸收光谱中吸收边位于313 nm,相应的带隙为3.96 eV.发光光谱是峰值位于421 nm的宽带谱,激发光谱范围宽,具有近紫外激发优势.