硅基力敏传感器及其工业应用（上）

• 作者: 徐开先
• 来源期刊: 世界仪表与自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 传感器 硅基力敏传感器 力敏元件
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 页码范围: 18-21
• 页数: 4页
• 分类号: TP212

摘要

一 硅基力敏传感器的现状 硅基力敏传感器是指以硅（单晶或多晶）材料为基础，利用MEMS工艺，其特性参数受外力或应力变化而明显变化的敏感元件制成的传感器。这里的力包括重力、拉力、压力、力矩、压强等物理量。力敏传感器包括力、压力、差压、液位传感器等。